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Laseranlagen für die Mikrobearbeitung
Beispiel: LMBS UV-150
Merkmale:
- UV-Laser 335 nm
- Arbeitsfeld 150 mm x 150 mm
- Positioniergenauigkeit 1,25 µm
- Bearbeitungsdimensionen bis 5 µm
Anwendung:
- Herstellung von Fotoschablonen
- Pinholes und Pinhole-Arrays
- Extrem feine Metallmasken
- 3D-Bearbeitung in Silizium, Keramik, Metall
- Feinste Glasbearbeitung
- Beschriften, Bohren, Schneiden
- Mikrostrukturen
- Anwendungsbeispiele
LMBS_Geräteprogramm
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